Talysurf CCI Lite 是一台先进的光学干涉仪，它采用了创新的相关算法， 去寻找通过光学扫描得到的干涉图象中的一致点与相位。Talysurf CCI Lite 应用于高精度的3D测量，通过采用不同的物镜头，可以检测不同的表面，全自动的工作台能适应 高水平的灵活应用。

主要测试和研究领域

1. 机械加工，磨削技术，表面形貌测量

功能应用/范围    

1. 三维表面纹理微观结构的测量、图形显示与分析

2. 三维表面粗糙度的分析

3. 表面纹理缺陷分析

4. 具有图像拼接功能（X、Y、Z方向）

5. 测量体积、面积、台阶（三维或者两维）高度、距离、圆弧半径等

6. 平面度测量和分析

主要技术参数

1. 测量最大范围（X-Y轴）：6.6mm x 6.6mm（2.5倍物镜）

                       1.65mm x 1.65mm（10倍物镜）

                       0.33mm x 0.33mm（50倍物镜）

2. 测量最大高度（Z轴）：9.3mm（5倍物镜）

                     7.4mm（10倍物镜）

                     2.2mm-标准

3. 垂直分辨率：0.01nm

4. 台阶重复测量精度：小于0.1%

5. Z方向重复性：小于0.02nm

6. 样品表面反射率：0.3%-100%

7. 测量时间：典型为5-40秒

8. XY工作台直线度：0.8um/100mm

9. 环境温度 20度