技术特色

能够同时测量表面粗糙度、形状和轮廓，创建了评价表面粗糙度和形状的新的全球标准。1mm粗糙度量程，多种可更换的测头和专利的标定技术，使得该电感测量系统成为几乎所有高精度测量应用的理想解决方案

主要测试和研究领域

表面粗糙度测量，轮廓度测量

功能应用/范围    

1. 精密金属加工和其它应用提供形状(轮廓)和表面粗糙度测量能力

2. 质量监督，科研单位，大中专院校

主要技术参数

1. 1mm垂直量程 / 16nm分辨率

2. 200mm的水平行程

首次在电感系统内推出，可以提供大的测量容积。 

3. 0.50um/120mm水平直线度误差

用于高精度的轮廓测量，即使是相当大的工件。可选择基准校正来进一步提高仪器的水平直线度精度，来满足更高精度要求的应用。

4. 0.125um水平数据采样间隔  

小的工件可以比以前测量的更加有效。测量时的启动长度和停止长度进一步的减少，进一步提高了适用性。

5. 450mm机动立柱（扫描箱移动高度）

当测量一些较难到达的工件部位时，驱动箱机动倾斜选项（±8°旋转）可以大大拓宽应用的灵活性